Ã߸®¹®Á¦¸¦ Ç® ¶§ ÁÖ¾îÁø Á¶°ÇÀ» º¸°í °æ¿ìÀÇ ¼ö¸¦ Á¤¸®ÇÏ¿©¼ º¸±â¸¦ Á¢±ÙÇÏ¸é ½±°Ô ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
µµÇüÃ߸®¹®Á¦¿¡¼´Â ÀüüÀûÀÎ µµÇüÀ» º¸Áö¸»°í µµÇüÀÇ ÀϺκР¶Ç´Â »öÀ̳ª ¹«´Ì¸¦ º¸°í ºÐ¼®ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ 3x3 Ä Áß ÇÑ ÄÀÌ ºñ¾îÀÖ´Â °æ¿ì °¡·Î¿¡ ´ëÇÑ º¯ÈÀÎÁö ¼¼·Î¿¡ ´ëÇÑ º¯ÈÀÎÁö ÆľÇÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù.
¾ËÆĺª¿¡ ´ëÇÑ ¹®Á¦°¡ ³ª¿Ã ¶§ A~Z±îÁö Á¤¸®ÇÑ »óÅ¿¡¼ ÇØ°áÇØ¾ß Æ²¸®Áö ¾Ê°í Á¤È®ÇÏ°í ºü¸£°Ô Ç® ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
±ä Áö¹®ÀÌ ³ª¿À´Â ³»¿ëµéÀº ³Ñ°Ü¤°Å³ª È¥ÀÚ»ý°¢ÇÏÁö¸»°í Áö¹®¿¡ ³ª¿Â ³»¿ëÀ¸·Î¸¸ ÇØ°áÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ°Ú½À´Ï´Ù.
MOSFET(1), MOSFET(2) ±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô °ÀǸ¦ µé¾ú½À´Ï´Ù.
MOSFETÀÇ Á¤ÀÇ¿Í Energband ±¸Á¶¸¦ ¾Ë¾Æº¸¾Ò½À´Ï´Ù. MOSFETÀÇ µ¿ÀÛÀ» 3¿µ¿ªÀ¸·Î ³ª´©¾î channelÀÌ Çü¼ºµÇ´Â °Í°ú pinch-offµÇ´Â °ÍÀ» ¤¾îÁּ̽À´Ï´Ù. Ideal MOSFET°ú ´Þ¸® real MOSFET´Â Vth°¡ Á¸ÀçÇÏ¿© ±×¸¸Å Vg°¡ ´õ Àΰ¡µÇ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
MOSFETÀº 1. TrapÇö»ó 2. Åͳθµ¿¡ ÀÇÇÑ TDDB·Î ÀÎÇØ DegradationÀÌ ¹ß»ýÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.
°øÁ¤ÀÌ ¹Ì¼¼ÈµÊ¿¡ µû¶ó Short Cannel effect°¡ ¹ß»ýµÇ´Âµ¥, Å©°Ô 1. Vth roll-off 2. hot carrier effect 3. DIBL 4. Punch-through °¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °¢°¢¿¡ ´ëÇÑ ÇØ°á¹æ¾È¿¡ ´ëÇؼµµ ¹è¿ö¼ Á¤¸®Çß½À´Ï´Ù.
°øÁ¤¹Ì¼¼È¿¡ µû¶ó Oxide ¹°ÁúÀÇ HKMG º¯È¿Í Gate¸¦ metal·Î º¯ÈµÇ´Â °ÍÀ» ¹è¿ü½À´Ï´Ù.
FinFET ±¸Á¶¿Í °øÁ¤ÀÇ ¾î·Á¿òÀ» ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
MOSCAPÀÇ MOSFET¿Í Â÷ÀÌÁ¡À» ±¸Á¶¿Í µ¿ÀÛ¿µ¿ª, ±³·ù Ư¼ºÀ¸·Î ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.