¿À´Ã ÀÎÀû¼º Ư°Àº ¾ç¸®¶ó ¼±»ý´ÔÀÇ ¼ö¸® ¸ðÀÇ°í»ç µÎ¹ø° Ç®À̽ð£À̾ú½À´Ï´Ù. ¿À´ÃÀº ÀÚ·áÇؼ®ÀÌ ¾Æ´Ñ ÀÀ¿ë¼ö¸® À§ÁÖÀÇ Ç®ÀÌ°¡ À̾îÁ³´Âµ¥, ±¸ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ´ë»óÀ» x¿Í y¸¦ µÎ°í ¿¬¸³¹æÁ¤½ÄÀ» Ǫ´Â ÇüÅÂÀÇ Ç®À̹ýÀ» ¾Ë·ÁÁ̴ּÙ. ¾î¶»°ÔÇÏ¸é ´õ ½±°Ô Ç® ¼ö ÀÖÀ» Áö °í¹ÎÇغ» °á°ú Ç¥¸¦ È°¿ëÇØ °ø½ÄÀ» ´ëÀÔÇÏ¸é ´õ ½±°Ô Ç® ¼ö ÀÖÀ» °Í °°´Ù´Â »ý°¢ÀÌ µé¾î
ÀÏÀÇ ´É·ü=ÀÛ¾÷·®/¼Ò¿ä½Ã°£ À̶ó´Â °ø½ÄÀ» µµÇ¥È ÇÏ¿© ¹®Á¦¸¦ Ç®¾îºÃ´Ù. ´õ ºü¸£°í Á¤È®ÇÏ°Ô Ç® ¼ö ÀÖ¾úÁö¸¸ ¾ÆÁ÷ ³Ö¾î¾ßÇÒ Á¤º¸°¡ ¸¹ÀÌ È¥µ·µÇ¾î ¸¹Àº ¿¬½ÀÀÌ ÇÊ¿äÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù ¤Ì¤Ì
¿À´Ã ±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ư°Àº ¸ð½ºÆê Á¦ÀÛ ½Ã 8´ë°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ³»¿ëÀ̾ú´Âµ¥, Àü°øÁ¤°ú ÈÄ°øÁ¤À¸·Î ³ª´©¾î ¼ø¼´ë·Î ¼³¸íÀ» ÇØÁ̴ּÙ. ù¹ø°·Î ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶ °úÁ¤Áß ¾î¶² ¹æ¹ýµéÀÌ ÀÖ´ÂÁö 2°¡Áö Á¤µµ ¼³¸íÇØÁּ̰í, ¿Á½Ãµ¥À̼ǵµ µå¶óÀÌ¿Í 웻¿Á½Ãµ¥ÀÌ¼Ç 2°¡Áö·Î ³ª´µ±â ¶§¹®¿¡ °¢°¢ÀÇ Àå´ÜÁ¡À» ¼³¸íÇØÁ̴ּÙ. ¼±»ý´ÔÀÌ ¹Ì¼¼È °øÁ¤¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢µÇ´Â °øÁ¤ÀÌ Æ÷Åä¿Í µ¥Æ÷Áö¼Ç °úÁ¤À̶ó°í ¸»¾¸ÇØÁּ̰í, Áß¿äÇѸ¸Å ¼¼ºÎÀûÀÎ ³»¿ëÀ» ´õÇؼ ¼³¸íÇØÁ̴ּÙ.
¶ÇÇÑ µ¥Æ÷Áö¼Ç¿¡´Â cvd¿Í pvd·Î ¹°¸®Àû ÈÇÐÀû ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °Í¿¡ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ³ª´µ°Ô µÇ´Âµ¥, ÀÌ ÀÌÈÄÀÇ µ¥Æ÷Áö¼Ç ½Ã°£¿¡ ´õ ÀÚ¼¼È÷ ¼³¸íÇØÁֽŴٴ ¸»¾¸°ú ÇÔ²² ¾Ð·Â¿¡ µû¶ó ´Þ¶óÁö´Â LPCVD, PECVD, APCVD ¼¼°¡Áö·Î ³ª´©¾î ¼³¸íÇØ Á̴ּÙ. ¸¶Áö¸·À¸·Î ¼ÒÀÚ »çÀÌ¿¡ Àü±â°¡ È带 ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹è¼±À» ¿¬°áÇØÁÖ´Â ¸ÞÅ»¸®Á¦ÀÌ¼Ç °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇØÁ̴ּÙ. µå·¹Àο¡ ºñÆ®¶óÀÎÀ» ¿¬°áÇÏ°í °ÔÀÌÆ®¿¡ ¿öµå¶óÀÎÀ» ¿¬°áÇÏ¸é µð·¥ÀÌ µÈ´Ù´Â °Íµµ ¾Ë·ÁÁ̴ּÙ!!