5ÀÏÂ÷ ½ºÅ͵ð´Â ±èµ¿¹Î ¼±»ý´Ô ¹ÝµµÃ¼ °ÀÇ·Î mosfet¿¡ ´ëÇØ ¹è¿ü½À´Ï´Ù. ±âº»ÀûÀ¸·Î mosfetÀÇ µ¿ÀÛ ¿ø¸®¿Í,degradation°ú ±× ÇØ°á¹æ¾È¿¡ ´ëÇØ mosfet(1) ½Ã°£¿¡ ÇнÀÇß½À´Ï´Ù. mosfetÀº gate¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾î ä³ÎÀ» Çü¼ºÇÏ¿© drainÀü¾ÐÀ» Á¶ÀýÇØ µå·¹ÀÎ Àü¾ÐÀ» Èê·ÁÁÖ°í °ÔÀÌÆ® Àü¾Ð°ú µå·¹ÀÎ Àü¾ÐÀÌ °°¾ÆÁ³À» ¶§ pinch-off°¡ ¹ß»ýÇÏ¿© saturation regionÀÌ Çü¼ºµÇ´Â ¿ø¸®·Î ÀÛµ¿ÇÕ´Ï´Ù. idealÇÑ »óȲ¿¡¼ °ÔÀÌÆ®Àü¾ÐÀÌ 0º¸´Ù Ŭ¶§ ä³ÎÀÌ Çü¼ºµÇÁö¸¸ ½Ç»ýÈ°¿¡¼ÀÇ ¸ð½ºÆêÀº °ÔÀÌÆ® Àü¾Ð¿¡¼ threshold Àü¾ÐÀ» »©ÁáÀ» ¶§ µå·¹ÀÎÀü¾ÐÀÌ µË´Ï´Ù.
µÎ¹ø°·Î degradationÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿øÀÎÀº ù¹ø°·Î ij¸®¾î°¡ ¿Á»çÀÌµå ³» trapµÇ´Â Çö»ó¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýÇÕ´Ï´Ù
ÀÌ´Â defect¿Í oxideÇ°Áú¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÇ°í »êÈÃþ°ú ¹ÝµµÃ¼ »çÀÌÀÇ defect³ª »êÈÃþ ³»ºÎ¿¡ defect¿¡ ÀÇÇØ ÀüÀÚ°¡ ÀâÈ÷°Ô µÇ°í ÀâÈù ÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇØ »êÈÃþÀÌ charge¸¦ ¶ç°Ô µÇ¸é¼ threshold voltageÁõ°¡ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ trasconductance°¡ °¨¼ÒÇÏ¿© ¸ð½ºÆêÀÇ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵ˴ϴÙ.
µÎ¹ø°´Â tddbÇö»óÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ´Â Åͳθµ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýµÇ°í ÅͳθµµÇ´Â ÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇØ »êÈÃþ ³»¿¡¼ EHP°¡ Çü¼ºµÈ´Ù. ¹ß»ýµÈ ÀüÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÂÊÀ¸·Î À̵¿ÇÏ°í, ȦÀº ¸ÞÅ»ÂÊÀ¸·Î Á¤·ÄµÇ¾î oxide³»¿¡ field°¡ Çü¼ºµÇ°í ÀÌ¿¡µû¶ó oxide band°¡ tiltµÇ´Â Çö»óÀÌ´Ù.
Ã߸®°ÀÇ´Â º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´ÔÀÇ Ã߸®°ÀǸ¦ 1-2¿¬¼ÓÇؼ µé¾ú½À´Ï´Ù. óÀ½ Ç®¾îº¸´Â ÀÎÀû¼ºÀÌ¾î¼ ½Ã°£À» À纸Áö ¾Ê°í ±×³É ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇߴµ¥ Á¤¸» ¾î·Æ°í ½Ã°£ÀÌ ¿À·¡°É·È½À´Ï´Ù¤Ì_¤Ì
ÇÏÁö¸¸ º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´ÔÀÇ °ÀǸ¦ µé¾îº¸´Ï ¼±»ý´Ô²²¼ ÂüÀÎ °á·ÐÀ» µûÁö½Ç ¶§ ¹ê´ÙÀ̾î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±³ÁýÇÕÀ¸·Î ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϽô Á¡, ¶ÇÇÑ Ç¥¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Âü°ú °ÅÁþÀ» °¡·Á³»´Â Ç®À̹ýÀÌ Á¤¸» ¸¹ÀÌ µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù!!!!
¶ÇÇÑ µµÇüÀÇ ±ÔÄ¢À» ã´Â ºÎºÐ¿¡¼ Á¤¸» µµ¿òÀÌ ¸¹ÀÌ µÇ¾ú´Âµ¥, °¡·Î¿Í ¼¼·Î·Î ³ª´©¾î º¯ÈµÈ ±ÔÄ¢À» ã´Â Ç®À̹ýÀ¸·Î ¾Æ¿¹ ¼Õµµ ´î¼ö ¾ø¾ú´ø µµÇü¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù!
¶ÇÇÑ µµÇüÇ®ÀÌ ½Ã °¡·Î¿Í ¼¼·ÎÀÎÁö ÆÇ´ÜÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù. ±×°ÍÀ» ÆÇ´ÜÇÑ ÈÄ¿¡ ½Ã°è³ª ¹Ý½Ã°è ¹æÇâÀ¸·ÎÀÇ È¸Àü ¹æÇâÀ» µûÁ®º¸¶ó´Â ¼±»ý´ÔÀÇ ¸»¾¸À» µÇ»õ±â¸ç Ç®Áö ¸øÇß´ø µµÇü ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇß½À´Ï´Ù!
°¡·Î°ü°è ¹®Á¦ÇØ°á½Ã¿¡µµ ¹®ÀåÀ¸·Î ¸¸µé¾îº¸°Å³ª À̹ÌÁö¸¦ ¶°¿Ã¸®¶ó´Â ¼±»ý´ÔÀÇ Á¶¾ðÀ¸·Î ¹®Á¦¸¦ ´õ¿í Á¤È®ÇÏ°Ô Ç® ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. óÀ½ Á¢Çغ¸´Â À¯ÇüÀÇ ¹®Á¦µéÀÌ ¸¹¾Æ Ã߸®¿µ¿ªÀÇ ¹®Á¦Ç®ÀÌ°¡ ¸Å¿ì ¾î·Á¿ü´Âµ¥ È®½ÇÈ÷ º¹ÁöÈÆ ¼±»ý´ÔÀÇ ÀÎÀû¼º Ã߸® Ç®ÀÌ°ÀǸ¦ ¼ö°ÇÏ¿© ¹®Á¦Ç®ÀÌ ¹æ¹ýÀ» ¾Ë°Ô µÈ ÈÄ¿¡ ¹®Á¦Ç®ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ¾î·Á¿òÀÌ ¸¹ÀÌ »ç¶óÁ³½À´Ï´Ù!
¸¹ÀÌ ºÎÁ·ÇÏÁö¸¸ ¾ÕÀ¸·Î ²ÙÁØÇÑ º¹½ÀÀ» ÅëÇØ ºü¸¥ ¼Óµµ·Î Á¤È®ÇÏ°Ô Çª´Â ¹æ¹ýÀ» Å͵æÇؾßÇÒ °Í °°½À´Ï´Ù^_^